Abb. 4: Kathodenzerstäubung In einer Feinvakuumkammer (Druck von
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Abb. 4: Kathodenzerstäubung In einer Feinvakuumkammer (Druck von ca.
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Abb. 4: Kathodenzerstäubung In einer Feinvakuumkammer (Druck von ca.